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Agilent Turbo-V 3K-G 分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng)，是針對薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計的渦輪分子泵。其葉片級數(shù)和整個泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，能夠在高溫負(fù)載和很高氬氣流下工作。
這款Turbo-V 3K-G 分子泵設(shè)計堅固，適用于惡劣的制造環(huán)境。典型的工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用，包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠設(shè)計和先進(jìn)的集成電子設(shè)備，使其成為真空鍍膜行業(yè)的最佳分子泵解決方案。
特性
專為薄膜沉積應(yīng)用而設(shè)計的分子泵解決方案
經(jīng)優(yōu)化適用于很高的氬氣流量
集成式泵和控制器可安裝在任何位置，操作簡單，占地面積小
支持高氣體流速，能夠使用 DN 250 實現(xiàn)高通量應(yīng)用
耐用設(shè)計、高效運(yùn)行的冷卻系統(tǒng)可實現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行
氣體吹掃可保護(hù)泵軸承，在存在系統(tǒng)污染物和微粒的情況下可實現(xiàn)無縫運(yùn)行
低噪音，不會對系統(tǒng)產(chǎn)生任何影響
免維護(hù)軸承，零運(yùn)行成本
通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制，以便隨時隨地進(jìn)行泵操作并可選配 Profibus
通用電子接口，包括模擬 I/O 信號和 RS232/RS485，用于通過 A-Plus 軟件實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制
性能指標(biāo)
| He 壓縮比 |
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| N2 壓縮比 |
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| 前級管道法蘭尺寸 |
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| 前級耐壓 — N2 |
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| 啟動時間 |
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| 工作位置 |
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| 建議采用的前級泵容量 |
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| 抽速 — Ar |
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| 抽速 — He |
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| 抽速 — N2 |
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| 操作環(huán)境溫度 |
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| 極限真空 |
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| 標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證 |
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| 法蘭類型 |
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| 貯存環(huán)境溫度 |
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| 重量 |
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| 額定轉(zhuǎn)速 |
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